光刻机

扩散炉

PECVD

深硅刻蚀机

氧化炉

高真空有机蒸发设备

 

电子束镀膜机

小型蒸发台

抛光机

磨片机

等离子刻蚀机

激光划片机

丝网印刷设备

烘干炉

 

烧结炉

层压机

清洗设备