本实验室旨在使学生掌握半导体制造过程中涉及到的工艺、材料和器件相关特性与参数的测试原理、测试方法以及半导体测试设备的结构原理、操作方法，学会分析测试结果，了解测试技术的发展现状和趋势，树立实事求是、严肃认真的科学态度，以培养学生的实验能力、科研能力以及在实践中运用所学理论知识的能力。

实验室拥有X射线定向仪、导电类型测试仪、电阻率测试仪、少子寿命测试仪、C-V特性测试仪、Agilent 4155C器件参数测试仪、氧碳含量测试仪、激光共聚焦显微镜、干涉显微镜、金相显微镜、霍尔测试仪、KEITHLEY器件I-V特性测试仪、高频小功率晶体管 f_T 测试仪、半导体特性图示仪、逻辑分析仪、大功率晶体管热阻测试仪等测试仪器设备近40台套，可以进行衬底材料晶向、晶体缺陷、导电类型、电阻率、方块电阻、少子寿命、PN结结深、杂质浓度分布、硅单晶中氧碳含量、C-V特性、I-V特性等参数、指标的表征与测试工作。  

另外，将相关测试国家标准、行业标准引入实践教学中，要求学生在掌握测试理论和技术的基础上，严格按照测试标准进行测试，并针对测试标准中的测试条件、数据处理方法、样品制备等规定进行讨论，从而达到“巩固理论知识，训练实践技能，培养工程思维，增强实践能力”的教学目标。

测试实验室照片

老师正在指导学生做实验